含氟废气治理的湿法净化技术采用水、碱性溶液或某些盐类溶液来吸收含氟废气中的氟化物，同时得到副产品氟硅酸、冰晶石、氟硅酸钠等。湿法净化技术的优点在于净化设备体积小，易实现，净化工艺过程可以连续操作和回收各种氟化物，净化效率高、效果好。湿法净化技术主要有水吸收法和碱吸收法两种。

  水吸收法基于氟化氢和四氟化硅溶液极易溶于水，生成氟硅酸的特性，如下：

SIF₄+2H₂O=4HF+SIO₂
2HF+SIF₄=H₂SIF₆
3SIF₄+2H₂O=2H₂FIF₆+SIO₂

  其需要的设备有文丘里洗涤器、喷射式洗涤器、拨水轮吸收室、湍流塔、喷淋塔等。设备材质一般采用塑料、玻璃钢或合金钢，在实际应用中，经常会出现管道或设备堵塞，需要随时注意，用水吸收法净化含氟废气时，为了提高净化效率和操作效率，一般都采用多级吸收流程。
  碱吸收法基于氟化氢与四氟化硅极易溶于水，又基于酸碱中和的原理，相对水吸收法而言，净化效率更高，可用于净化铝厂的氟化氢烟气，磷肥厂的四氟化硅废气，同时生成副产品冰晶石等氟化盐。
  碱吸收法一般采用碳酸钠和氨水吸收。
  碳酸钠洗涤电解铝厂烟气时，烟气中的氟化氢和碱液反应生成氟化钠，如下：

HF+Na₂CO₃=NaF+NaHCO₃
2HF+Na₂CO₃=2NaF+CO₂+H₂O

  当吸收液中NaF达到一定浓度时，加入定量的偏铝酸钠可制得冰晶石。
  氨水作为吸收剂，洗涤吸收钙镁磷肥生成中排出的含氟废气，反应生成NH4F，析出硅胶，如下：

HF+NH₃=NH₄F
3SIF₄+4NH₃+(N+2)H₂O=2（NH₄）₂SIF₆+SIO₂+nH₂O
(NH₄)2SIF₆+4NH₃+(N+2)H₂O=6NH₄F+SIO₂+nH₂O

  生成的NH4F溶液中，加入AL₂(SO₄)₃和Na₂SO₄，生成冰晶石。
  现今含氟废气治理考虑成本、操作、使用寿命及运行费用，绝大部分都是采用湿法净化技术。